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2003.07.01トピックス

アドバンストディスプレイオブザイヤー(ADY)優秀賞受賞


 

弊社の『剥離帯電防止コーティング』が、第13回フラットパネルディスプレイ製造技術展の、ADY製造装置部門の優秀賞に選ばれました。

 

この剥離帯電防止コーティングは、バキュームチャックプレートからガラス基板が離れる時に発生する剥離帯電を防止するものです。基板サイズが大型化すると共に大きくなり、解消が困難とされる剥離帯電問題を解消し、歩留まりを大きく改善する技術に、高い評価を頂戴したものです。

 

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