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2003.07.02新製品

バキュームチャックプレート[FPD・カラ−フィルタ−製造工程]の
剥離帯電防止コ−ティングを開発―NF-685B


剥離による静電気帯電を長期にわたり抑制!しかもガラス基板をやさしく保護。

グラフはFPD製造工程にて一般的に使用されているアルマイトコーティングのチャックと、NF−685Bコーティング品との経時変化を比較した現場データです。
アルマイトコーティング品も初期は帯電量が少ないですが、やがて急激にガラス基板を帯電させてしまうようになります。NF−685Bコーティング品は、アルマイト品が交換時期になっても全く性能が落ちていません。

 

■特徴
 1.特殊なフッ素樹脂コーティングです。
 2.吸着エネルギーが低く、非粘着性に優れ、摩擦係数が低いため、ガラス基板との相関作用が小さくなり、
  剥離による静電気の発生量を抑制します。
 3.導電性コーティングなので、コーティング自身が帯電することはなく、ガラス基板へ悪影響を与えることがありません。
 4.ガラス基板からのSiO2粒子付着を低減します。
 5.フッ素樹脂の柔らかさが、ガラス基板をやさしく守ります。
 6.長期間使用でもESD問題が発生せず、長寿命です。
 7.現在ご使用のプレートにも施工可能です。

 2003年ADY製造装置部門優秀賞受賞

 

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